نوسانگر دوبانده تنظیم‌پذیر با استفاده از تکنولوژی MEMS

نوع مقاله : مقاله پژوهشی

نویسندگان

1 دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

2 دانشگاه صنعتی امیرکبیر

3 دانشگاه تهران

چکیده

در این مقاله یکی از کاربردهای تکنولوژی MEMS در حوزه سیستم‌های مخابراتی بیان می‌گردد. برای اولین بار با استفاده از یک خازن متغیر MEMS در نوسانگر CSRR یک روش جدید برای تنظیم‌پذیری و چندبانده‌کردن نوسانگرهای مخابراتی به صورت مستقل و همزمان ارائه می‌شود. علاوه بر این قابلیت، به منظور کاهش نویزپذیری ناشی از اتصالات غیرمجتمع و نیز با اهداف کاهش مساحت، تلفات و همچنین به منظور یکپارچه‌سازی با المان MEMS، نوسانگر CSRR بر روی یک خط Half mode substrate integrated waveguide (HMSIW) با تکنولوژی ساخت مدارات مجتمع پیاده‌سازی می‌گردد. بعلاوه در این مقاله به کمک نرم افزار HFSS رفتار فرکانسی ساختار شبیه‌سازی مغناطیسی شده است. نتایج به دست آمده بیانگر این موضوع است که افت عبوری ساختارهای ارائه شده کمتر از dB 1 و تلفات برگشتی بیشتر از dB 15 می‏باشد، همچنین محدوده فرکانس نوسان نوسانگر ارائه شده در باند S و با رفتار فرکانسی مشابه و قابل تطبیق با ساختارهای برد مدار چاپی است. در این شرایط، مساحت این ساختار با انتخاب زیرلایه مناسب برای مجتمع‌سازی تا پنج برابر نسبت به ساختارهای مرسوم کمتر شده است. فرآیند ساخت پیشنهادی برای ساختار دوبانده تنظیم‌پذیر نیز مبتنی بر ادوات و تکنولوژی ساخت مدارات مجتمع موجود می‏باشد.

کلیدواژه‌ها

موضوعات


عنوان مقاله [English]

Dual-Band and Adjustable HMSIW Resonator Using MEMS Technology

نویسندگان [English]

  • seyyede shirin saberhosseini 1
  • Bahram Azizollah Gangi 1
  • ayaz ghorbani 2
  • javad koohsorkhi 3
1 babol noshirvani university of technology
2 AmirKabir University of Technology
3 University of Tehran
چکیده [English]

In this paper, one of the applications of MEMS technology in the field of telecommunication systems is introduced. For the first time, by using a variable MEMS capacitor in the CSRR resonator, a new method for adjusting and multi-banding telecommunication resonators is provided independently and simultaneously. In addition, the CSRR resonator is implemented on a HMSIW line and fabricated with the integrated circuit fabrication technology in order to reduce the noise caused by incomplete connection as well as area and loss and to integrate with the MEMS structure. Also, in this paper, the frequency behavior of structures was investigated by magnetic simulation with HFSS software. The results indicate that the transmission loss of the proposed structures is less than 1 dB and the return loss is greater than 15 dB. The proposed resonator works in the S-band frequency with the same frequency behavior as PCB board while its area is reduced by five times compared to the conventional structure by choosing the appropriate substrate for the integration. The proposed fabrication process for the adjustable and dual-band structure is presented which is based on existing integrated circuit technology.

کلیدواژه‌ها [English]

  • HMSIW Resonator
  • MEMS Capacitor
  • Adjustability
  • Dual Band
  • Integration