نویسندگان
1 دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، کارشناسی ارشد برق-کنترل
2 دانشگاه جامع امام حسین (ع)، استادیار
چکیده
کلیدواژهها
عنوان مقاله [English]
نویسندگان [English]
از آنجایی که محفظهی پلاسما از نظر الکتریکی، باری متغیر با زمان محسوب میشود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تا انتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولّد فرکانس رادیویی و محفظهی پلاسما از یک شبکهی تطبیق امپدانس استفاده شود تا با اندازهگیری یک پارامتر مناسب مانند پارامتر VSWR و اعمال تغییر مناسب بر روی المانهای شبکهی تطبیق امپدانس، مولّد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند (با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه) در خروجی خود، بار 50 اهم خالص را ببیند. در این فعالیت کار طراحی و ساخت یک شبکهی تطبیق امپدانس با قابلیت انتقال توان 600 وات در فرکانس 56/13 مگاهرتز برای تطبیق بار الکتریکی محفظهی پلاسما به امپدانس خروجی مولّد فرکانس رادیویی انجام شده است. در جعبهی تطبیق امپدانس طراحی شده، از یک شبکه نوع L که شامل دو خازن متغیر و یک سلف ثابت است، به عنوان شبکهی تطبیق امپدانس، از یک اندازهگیر VSWR به عنوان حسگر تطبیق، از دو عدد موتور Servo به عنوان عملگر برای چرخاندن خازنهای متغیر و از الگوریتم کمینه VSWR به عنوان الگوریتم تطبیق استفاده شده است.
کلیدواژهها [English]
)