نویسندگان
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
کلیدواژهها
عنوان مقاله [English]
نویسندگان [English]
با توسعه فناوری میکروماشینی و میکروالکترونیک، میکروهیتر یک مؤلفه کلیدی در میکروحسگرها به حساب میآید. در این مقاله یک میکروهیترپلاتینی با ساختار غشای معلق طراحی و ساخته شده است. شبیهسازی با نرمافزار کاونتور به کار گرفته شده است تا طراحی بهینه انتخاب شود. برای به دست آوردن توزیع دمای یکنواخت در سرتاسر ناحیه فعال میکروهیتر و افزایش استقامت غشا، لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک قرار داده شده است. یک فرایند ساده و مطابق با فرایند استاندارد مدار مجتمع برای ساخت میکروهیتر کم مصرف طراحی شده است. میکروهیتر ساخته شده برای رسیدن به دمای بالا oC400 فقط به توان مصرفی کم 45 میلیوات نیاز دارد. همچنین دارای پاسخ زمانی بسیار سریع در محدود 5 میلیثانیه برای رسیدن به دمای oC400 است.
کلیدواژهها [English]
)