نویسندگان
1 دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
2 ذانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
3 دانشگاه صنعنی مالک اشتر تهران
4 دانشیار دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
5 مدیر مرکز میکروالکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
کلیدواژهها
عنوان مقاله [English]
نویسندگان [English]
در این مقاله فرآیند ساخت میکروکانالها با استفاده از روش برجستهسازی گرم ارائه گردیده است. همچنین با استفاده از راهکارهایی، پیچیدگیها و هزینه ساخت کاهش داده شده و از موادی پلیمری، کم هزینه و سازگار با نمونههای زیستی بهره گرفته شده تا برای استفاده در ابزارهای ریزسیال مناسب باشند. برای ایجاد میکروکانالها ابتدا مُهری از جنس پلیمرSU-8 با استفاده از روشهای لیتوگرافی استاندارد، روی یک زیرلایه شیشهای ساخته شده، سپس با اعمال فشار و حرارت طی فرآیندی کنترل شده، میکروکانال مورد نظر در بستری از جنس پلیمر PMMA ایجاد گردیده است. استفاده از مهر SU-8 صافی سطح بهتری را در کف کانال منجر شده و به ایجاد جریاناهای آرام در داخل کانال کمک مینماید. همچنین دیواره کانالها به طور قابل قبولی عمود بوده و این مسئله در تصاویری که با میکروسکوب روبش الکترونی گرفته شده، به خوبی نشان داده شده است. عوامل موثر بر کیفیت ساختار ایجاد شده از قبیل دما، فشار و زمان حرارت دهی مورد بررسی قرارگرفته و مقادیر بهینه تعیین گردیدهاند. همچنین، میکروکانالهای ساخته شده در این مقاله دارای عرض 15میکرومتر و عمقی برابر 40 میکرومتر می-باشند.
کلیدواژهها [English]
)