ساخت میکروعملگر الکتروستاتیکی با استفاده از پلیمر SU-8 جهت استفاده در ادوات MEMS با دیافراگم پیوسته

نویسندگان

1 مجتمع برق الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشترکارشناسی ارشد برق الکترونیک

2 مجتمع برق الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر دکترای فیزیک

3 دانشکده فنی دانشگاه آزاد واحد رودهن دکترای مکانیک

4 مجتمع برق الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر کارشناسی ارشد برق

چکیده

در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله

کلیدواژه‌ها

عنوان مقاله [English]

Fabrication of Electrostatic Microactuator with SU-8 polymer for continuous diaphragm-based devices

نویسندگان [English]

  • مهرناز اسفندیاری 1
  • رضا اسدی 2
  • پیام حیدری 3
  • علیرضا شمسی 4
چکیده [English]

In this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paperIn this paper

کلیدواژه‌ها [English]

  • Microelectromechanical system
  • Electrostatic Actuators
  • Microactuators
  • SU-8

فایل ها

اشتراک گذاری

ارجاع به این مقاله

آمار